由Ar~+激光器和YAG激光器组成的脉冲与连续退火系统

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoyanmeimei
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过出售激光退火机,美国有两家公司正在继续大力研究半导体的脉冲与连续波激光退火。其中一家是Quantronix公司,它早先出售的退火机中只有一台脉冲Nd-YAG激光器,现在已向国际商业机械公司研究实验室提供了一台同时包括YAG和连续波氩激光器的系统。另一家出售固体激光器系统
其他文献
<正> 用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2mm宽的条,分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元件的复杂几何图形。最后,由激光产生的数据印在母板
设计了一台测定激光脉冲能量的简单量热计。本文讨论了它的设计与应用。
期刊
采用YAG532nm光预泵浦的方法,研究了偶氮材料EO和MO的单色光、双光子、和复色光共同存储状态,分别研究了它们的实时、短时、长时和永久存储状态。还分析了最佳泵浦条件及复色光
<正> 自从裂变发现以来的五十年间,已基于这一过程发展出强大的技术,同时对这个现象进行了详细研究。已经发现产生感应核裂变的许多。试样&#39;,首先就是中子。中子感应的裂
劳伦斯&#183;利弗莫尔实验室获得的氙的受激发射已确认是激光(Laser Focus,Sept.p4)。经研究人员计算,在1700埃处的自发发射功率为300兆瓦,能量转换效率为25%。他们现在正在
期刊
以激光作光源使新闻的超高速电传成为可能的传真装置,由日本松下电送机器厂和松下技研共同研制成功。此种装置用60秒左右的时间即能电传一页报刊。以激光作传真光源之所以成
期刊
<正> 由于美国桑迪亚国家实验室的研究,已获得一种可调谐相干紫外高效光源,可用于战略防御倡议和化学分析等一系列应用。这种象激光装置的真空紫外辐射源,能产生130nm的相干
激光的一个令人注意的新应用是利用流动液体对光子散射的原理。如果光束被流动液体散射,则由于多普勒效应,与入射光束相比,反射光束的频率便发生变化。当流动速度不大时,这种
期刊