【摘 要】
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为实现高性能的半球谐振子结构设计,针对半球谐振陀螺的结构参数对其工作模态频率、模态频率位阶以及进动系数的影响做了相关研究。在对陀螺进动系数计算理论的研究基础上,对
【基金项目】
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机械频率调制MEMS陀螺专用读出电路研究(61971466)。
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为实现高性能的半球谐振子结构设计,针对半球谐振陀螺的结构参数对其工作模态频率、模态频率位阶以及进动系数的影响做了相关研究。在对陀螺进动系数计算理论的研究基础上,对半球谐振陀螺的进动因子进行了有限元仿真计算;随后,对具有不同结构参数的半球谐振子进行了模态仿真分析,发现在半球谐振子设计过程中,当球壳厚度和支撑柱半径之比小于1/3时,能够将陀螺的工作模态设置于最容易被激发的第1和第2阶模态,由此大大提高了陀螺敏感特性;同时,能够极大拉开工作模态与干扰模态之间的频差,仿真结果中的频差最大拉开了2760.8Hz;最
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