【摘 要】
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MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅（100）面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥，然后采用电镀
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MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅（100）面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥，然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅，就得到了倾斜角度为70．6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型，验证了微针具有足够的强度。
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