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静电陀螺仪转子的超精密圆度测量
静电陀螺仪转子的超精密圆度测量
来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhjipi07
【摘 要】
:
本文在比较了误差分离的几种方法之后,着重讨论了多步法的方法误差和系统误差。按此法建立了计算机辅助毫微米圆度测量系统,将圆度仪的测量精度(2σ)从原来的0.025微米提高到
【作 者】
:
顾启泰
章燕申
刘学斌
叶京生
【机 构】
:
清华大学,清华大学
【出 处】
:
中国惯性技术学报
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
圆度测量
圆度仪
误差分离
静电陀螺仪
圆度误差
超精密
精圆
多步法
惯性技术
精密工程
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本文在比较了误差分离的几种方法之后,着重讨论了多步法的方法误差和系统误差。按此法建立了计算机辅助毫微米圆度测量系统,将圆度仪的测量精度(2σ)从原来的0.025微米提高到0.002微米,足以满足精密工程、惯性技术和宇航科学等领域对超精圆球的计量要求。
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