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激光淀积可把径向尺寸小的薄膜结构直接记录到基片上。图1表示普通激光淀积试验装置。激光淀积虽有几种，但一般可很方便地分成两类，即热和光化淀积。
激光淀积: 一定会发展
【摘 要】
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激光淀积可把径向尺寸小的薄膜结构直接记录到基片上。图1表示普通激光淀积试验装置。激光淀积虽有几种，但一般可很方便地分成两类，即热和光化淀积。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1983年20期
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