提高K─600油扩散泵性能的探讨

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一、概述 K-600油扩散泵是属于大型泵之一,其应用范围较广,用量也是较多的一种规格。它已广泛地用于真空热处理设备和真空镀膜设备中。但鉴于目前市售之商品泵存在着抽速较低,不仅足满不了使用要求,而且也没有达到一机部的产品质量标准要求,有进一步改进的必要。为此,我们除了 First, an overview K-600 oil diffusion pump is one of the large pumps, the wider scope of its application, the amount is more of a specification. It has been widely used in vacuum heat treatment equipment and vacuum coating equipment. However, in view of the fact that there is a low pumping speed in the currently commercially available product pumps, it is not only sufficient for use but also fails to meet the product quality standard requirements of a machine department. There is a need for further improvement. For this purpose, we except
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