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太赫兹（以下简称THz）波位于微波到红外光学的过渡区域，具有重要的学术价值，在民用和国防等领域有着广泛的应用。高速器件产生或传输的超快脉冲宽度已达皮秒量级，带宽已进入太赫兹频段。传统技术和方法无法解决此类器件的校准问题，而结合光电技术的时域电光取样（EOS）技术则为太赫兹脉冲计量提供了有效的手段，本文对此类新技术进行了全面的概述。