【摘 要】
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在为进一步了解工艺参数对溅射膜沉积的影响，开展了不同工作气体压强、不同溅射功率和有无负偏压条件下的Zr、Cu、Ni单金属溅射膜和Zr—Cu、Zr-Ni二元合金溅射膜的溅射沉积实
【基金项目】
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山东省自然科学基金项目(Y2007F42)
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在为进一步了解工艺参数对溅射膜沉积的影响，开展了不同工作气体压强、不同溅射功率和有无负偏压条件下的Zr、Cu、Ni单金属溅射膜和Zr—Cu、Zr-Ni二元合金溅射膜的溅射沉积实验。使用称重法，分析了溅射膜沉积量随工作气体压强、溅射功率的变化规律；通过分层溅射和共溅工艺实验，对比了相同溅射功率下Zr与Cu、Zr与Ni元素间分层溅射膜和共溅膜的沉积量；采用扫描电子显微镜，分析、研究了溅射过程中负偏压对Cu溅射膜膜层生长方式的影响。结果表明，由于工作气体压强对电子与气体分子以及对靶材原子与气体分子碰撞几率的影响
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