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在退火处理时，Ｇｅ易与Ｓｉ中Ｏ形成易挥发的ＧｅＯ复合体，使硅片表面洁净区的形成受氧的外扩散和ＧｅＯ挥发两种因素制约。即从效果上看，Ｇｅ增强了氧的外扩散，有利于内吸附工艺的实现。
CZSi中Ge增强氧外扩散现象
【摘 要】
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在退火处理时，Ｇｅ易与Ｓｉ中Ｏ形成易挥发的ＧｅＯ复合体，使硅片表面洁净区的形成受氧的外扩散和ＧｅＯ挥发两种因素制约。即从效果上看，Ｇｅ增强了氧的外扩散，有利于内吸附工艺的实现。
【机 构】
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河北工业大学半导体材料研究所
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目!（59772037）,,河北省自然科学基金资助项目!（594061）
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