【摘 要】
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1.前言对于超精密机床或用于半导体生产的光刻机来说,改善工作台的精度是至关重要的。相应的,发展高精密测量工具是评定加工精度和零件精度的基础。本系统既有带误差修正的
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1.前言对于超精密机床或用于半导体生产的光刻机来说,改善工作台的精度是至关重要的。相应的,发展高精密测量工具是评定加工精度和零件精度的基础。本系统既有带误差修正的高精密直线度测量功能,又有轮廓测量的功能。本文描述了该系统直线度测量装置及其精度评定结果。
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