微结构光寻址电位传感器阵列芯片的研制

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：w__hailin

【摘要】

：

详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片,芯片表面划分成5×7个敏感单元,其中每个敏感区表面设置40×40个硅尖阵列,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口.

【作者】

：

韩泾鸿张虹顾丽波徐磊陈绍凤王利王蕾

【机构】

：

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

微结构光寻址电位传感器阵列芯片微电子机械加工

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详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片,芯片表面划分成5×7个敏感单元,其中每个敏感区表面设置40×40个硅尖阵列,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口.一个5×7矩阵的红外LED作为光源控制的耦合到芯片背面的阵列窗口.给出了LAPS阵列芯片的扫描电镜照片和多种生化参数的光寻址测试结果,分析讨论了芯片厚度、LAPS曲线线性度对系统性能的影响.

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