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本文介绍应用化学溶液沉积法制备超导薄膜的方法.原则上应用这种方法可以广泛制备诸如氧化物铁电薄膜、氧化物介质薄膜、半导体薄膜、金属化合物薄膜等各类薄膜,广泛应用于科研和生产中.其方法成本低廉、工艺简单、制备周期短、且可在较低温度下成相,是一种制备薄膜的好方法.这里从理论与实践的结合上给以论述.
应用化学溶液沉积法制备薄膜
【摘 要】
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本文介绍应用化学溶液沉积法制备超导薄膜的方法.原则上应用这种方法可以广泛制备诸如氧化物铁电薄膜、氧化物介质薄膜、半导体薄膜、金属化合物薄膜等各类薄膜,广泛应用于科
【机 构】
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青海师范大学物理系
【出 处】
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青海师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年2期
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