【摘 要】
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以聚合物ZPU-44和聚砜（PSU,polysulfone risin）分别作为波导包层和芯层材料,采用倒脊形波导结构,设计并优化了聚合物可重构微环谐振腔滤波器的波导截面参数、弯曲半径、耦合区
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以聚合物ZPU-44和聚砜（PSU,polysulfone risin）分别作为波导包层和芯层材料,采用倒脊形波导结构,设计并优化了聚合物可重构微环谐振腔滤波器的波导截面参数、弯曲半径、耦合区波导长度和间距以及调谐电极等结构参数,分析了其谐振滤波特性。采用传统的微加工工艺制备了聚合物可重构微环谐振腔滤波器并进行了测试。结果表明,其在通信波段1 550nm附近的自由光谱范围（FSR）为0.15nm,3dB带宽约为0.023 5nm,品质因子Q达6.60×10^4,在0~4V电压范围内实现了0.5~
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