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期刊论文
表面加工多晶硅薄膜热导率测试结构
表面加工多晶硅薄膜热导率测试结构
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xwp1024
【摘 要】
:
提出了一种使用表面加工工艺设计多晶硅薄膜热导率的测试结构,论文推导了热学模型,给出了测试方法.由于其制造工艺能和其它微机械器件制造工艺完全兼容,因而能够达到监控MEMS
【作 者】
:
许高斌
黄庆安
【机 构】
:
东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2003年7期
【关键词】
:
表面加工
多晶硅薄膜
热导率
测试结构
热学特性
thermal conductivity
surface micromachining technique
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提出了一种使用表面加工工艺设计多晶硅薄膜热导率的测试结构,论文推导了热学模型,给出了测试方法.由于其制造工艺能和其它微机械器件制造工艺完全兼容,因而能够达到监控MEMS器件制造工艺和在线检测的目的.
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