论文部分内容阅读
本文阐述了微型机电系统(MEMS)领域中微泵的几种常见的致动方式及其特点。根据硅微泵的结构特点,制作出用于微型泵的电磁致动器,并对该电磁致动器进行了分析与振动测试。
微泵电磁致动器的研制与测试
【摘 要】
：
本文阐述了微型机电系统(MEMS)领域中微泵的几种常见的致动方式及其特点。根据硅微泵的结构特点,制作出用于微型泵的电磁致动器,并对该电磁致动器进行了分析与振动测试。
【机 构】
：
清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
：
测试技术学报
【发表日期】
：
1998年03期
其他文献
在众多以女性题材创作的日本导演中,成濑巳喜男(以下简称成濑)被称为"最明白日本女性状况及她们身处困境本质的导演";在银幕上不计其数的女性形象被概括为"蛇蝎女人"和"圣母"
目的探讨同型半胱氨酸（Hcy）与c反应蛋白（CRP）在2型糖尿病视网膜病变（DR）发病中的作用。方法选取我院2012年6月到2012年9月住院治疗的山西省汉族2型糖尿病患者87人，其中增殖性糖尿病
辨证论治是中医的精髓,是中医药取得临床疗效的关键所在,皮肤病是中医药治疗的优势病种,辨证规范化有利于提高辨证的准确性,是提高中医临床疗效的和推广有效诊疗方案的基础。
校长职业阶梯与校长的可持续性激励北京师范大学洪成文沈阳教育学院狄玉兰一论及校长和学校如何激励教师，我们不可谓不熟悉；对于校长由谁来激励和如何激励，我们却不免有些陌生；而
各城市在发展公共交通的过程中出现了不切实际制定发展目标、转换公交出行分担率概念以应付指标检查等问题,同时,由于城市总体规模、形态布局、自然地理等差异,城市之间公交
通关口岸是一种特殊的交通枢纽,为保证其提供舒适、快捷的通关服务,满足日益增长的通关需求,有必要对其进行科学的交通预测和规划设计。针对通关口岸交通需求复杂、内部查验
没有预设的生成是盲目的,没有生成的预设是低效的。无论是预设还是生成,都要服从于有效的教学、正确的价值导向和学生的健康发展。只有"精心的预设"才能成就"精彩的生成",才
“无效果无报酬”原则是海难救助制度中的特有原则,以效果衡量标准和报酬激励机制对遇难船舶及货物的救助起到了积极的促进作用。然则对财产救助的有偿设计打击了无偿救助人
<正>李克强总理2013年9月3日在第十届中国-东盟博览会和中国-东盟商务与投资峰会上致辞时表示,中国和东盟有能力打造已经过去的"黄金十年",也有能力创造未来新的"钻石十年",