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文章介绍了破坏性物理分析(DPA)内容,以及它在高可靠性半导体器件质量验证中的作用。通过大量的数据表明,DPA 能有效地评价半导体器件的批质量.
破坏性物理分析(DPA)在高可靠半导体器件质量验证中的作用
【摘 要】
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文章介绍了破坏性物理分析(DPA)内容,以及它在高可靠性半导体器件质量验证中的作用。通过大量的数据表明,DPA 能有效地评价半导体器件的批质量.
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所,北京卫星环境工程研究所北京100029,北京100029
【出 处】
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环模技术
【发表日期】
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1999年2期
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