硬质合金基体上金刚石膜的XRD研究

来源 :冶金丛刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rliang

【摘要】

：

近年来CVD金刚石涂层硬质合金刀片的制备与工业化应用已取得重大进展,对金刚石薄膜的沉积质量、应力状态、粘附性能进行无损表征具有显著的实用价值.本文主要借助XRD分析方法

【作者】

：

陈丽凤匡同春成晓玲

【机构】

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五羊一本田摩托,广东工业大学实验研究中心

【出处】

：

冶金丛刊

【发表日期】

：

2001年6期

【关键词】

：

金刚石膜微观结构残余应力粘附性能 XRD 硬质合金涂层刀具 Diamond film Microstructure Residual stress

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近年来CVD金刚石涂层硬质合金刀片的制备与工业化应用已取得重大进展,对金刚石薄膜的沉积质量、应力状态、粘附性能进行无损表征具有显著的实用价值.本文主要借助XRD分析方法对硬质合金刀片上沉积的金刚石薄膜的微观结构参量、残余应力状态、粘附性能之间的相互关系进行了初步研究,探讨了CVD金刚石膜中残余应力的形成及其对金刚石膜粘附性能的影响.

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