降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chxiang007

【摘要】

：

本文提出用185nm紫外线降低高纯水中总有机碳(TOC)的能量传递光化学模型.计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系,从而解决了在工程设计中185nm紫外

【作者】

：

闻瑞梅梁骏吾

【机构】

：

同济大学,中科院半导体所

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2003年11期

【关键词】

：

超大规模集成电路总有机碳 185纳米紫外光化学 ULSI total organic carbon 185nm UV photochemistry

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本文提出用185nm紫外线降低高纯水中总有机碳(TOC)的能量传递光化学模型.计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系,从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法.根据理论计算出的结果和实验十分一致,证实了本模型的正确性.使高纯水中的TOC由4200μg/l 降至0.3μg/l,是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平.

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