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185纳米紫外相关论文

降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

本文提出用185nm紫外线降低高纯水中总有机碳(TOC)的能量传递光化学模型.计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能......

期刊

超大规模集成电路总有机碳 185纳米紫外光化学 ULSI total organic carbon 185nm UV photochemistry

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