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介绍了集成电路制造中的电镀金应用、电镀金工艺流程、电镀金原理、电镀药水、电镀设备类型、电镀金工艺参数的控制以及金镀层的性能表现。
应用于集成电路制造的电镀金工艺控制
【摘 要】
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介绍了集成电路制造中的电镀金应用、电镀金工艺流程、电镀金原理、电镀药水、电镀设备类型、电镀金工艺参数的控制以及金镀层的性能表现。
【机 构】
：
安美特中国（化学）有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年3期
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