【摘 要】
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利用溶胶凝胶法在Al2O3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌（MZO）透明导电薄膜,研究了,钼的掺杂量（0～1 at%）对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响。研究结果表明：所制备的薄膜为
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院新型薄膜太阳能电池重点实验室
【基金项目】
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Anhui Provincial Natural Science Foundation（090414169）, Anhui Provincial International Science and Technology Cooperation Program（10080703021）
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利用溶胶凝胶法在Al2O3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌（MZO）透明导电薄膜,研究了,钼的掺杂量（0～1 at%）对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响。研究结果表明：所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密。通过高温真空退火,MZO薄膜的电阻率明显降低。且随着钼含量的增加,MZO薄膜的电阻率呈现出先减小后增大的趋势,当钼含量为0.4at%时,获得最小电阻率为0.13Ωcm。薄膜在近红外区域（800～2000 nm）的平均透过率大于85%,这可以有效地拓宽光电器件的光谱范围。
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