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期刊论文
调整磁场强度分布 提高靶材利用率
调整磁场强度分布 提高靶材利用率
来源 :玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:louisvu
【摘 要】
:
介绍了磁场强度在磁控溅射工艺中的作用,根据美国Airco公司镀膜生产线的实践经验,详细论述了如何通过调整靶材磁场强度,提高靶材的利用率.
【作 者】
:
郭明
王凤杰
【机 构】
:
洛玻集团晶润镀膜玻璃有限公司洛阳市471000,中北玻璃工业公司北京市100044
【出 处】
:
玻璃
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
调整
磁场强度
靶材
利用率
磁控溅射工艺
镀膜玻璃
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介绍了磁场强度在磁控溅射工艺中的作用,根据美国Airco公司镀膜生产线的实践经验,详细论述了如何通过调整靶材磁场强度,提高靶材的利用率.
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