【摘 要】
：
衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素。针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求,文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统,详细论述了LabVIEW环
【机 构】
：
中国石油大学(华东)信息与控制工程学院,林茨大学实验物理研究所原子与表面科学系,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,
论文部分内容阅读
衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素。针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求,文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统,详细论述了LabVIEW环境下的温控系统应用软件设计思路,该应用软件通过VISA接口与精密温度控制仪进行数据通信,依据其内置的PID控制算法,实现温度控制。测试试验表明:该系统具体良好的恒温效果,能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求,具有很高的实用价值。
其他文献
<正>睡眠障碍是指睡眠质量不正常以及睡眠中出现的异常行为表现。睡眠障碍是卒中后常见的并发症,容易引起焦虑、抑郁等并发症,导致患者生活质量下降,可使患者原来的危险因素
<正> 在西方音乐史上,有些“音乐大师”是争议颇多的人物,法国作曲家柏辽兹 (Hector Betlioz,1803-1869)就是其中的一位。与柏辽兹同时代的法国诗人和艺术评论家戈蒂埃(Theop
<正>压力性尿失禁(SUI)是中老年妇女的常见病,其临床表现主要是在咳嗽、打喷嚏、大笑、锻炼等腹压突然增加时出现尿液不自主从尿道口流出,严重者在日常活动时也会出现,严重影
指出了在目前技术条件下,开发软件数控系统的可能性。分析了利用RTX实现软件数控技术的方法和关键技术,并在此基础上开发了基于RTX的软件数控系统的原型系统。
目的观察耳穴贴压护理技术改善脑卒中后失眠患者睡眠状况的临床疗效。方法将68例脑卒中失眠患者随机分为试验组33例和对照组35例。对照组接受原发病基础治疗和相应的综合护理
新课程改革下的自主、合作、探究学习,在具体操作中存在问题,目标多元,教师作用淡化,没有真正体现以学定教。
Under the new curriculum reform, autonomy, cooperation and
软弱围岩是煤矿井巷施工中最为常见的不良地质类型，由于受采动影响，软弱围岩地段很容易出现变形破坏。为此，需要进行加固保证巷道结构的稳定，确保矿井安全。本文首先分析了软岩支
轨道吸音板由优质低碱普通硅酸盐水泥、吸声陶粒等固结而成,一般放置于轨枕或整体道床上,直接吸收轮轨一次噪声。结合北京地铁工程情况,介绍轨道吸音板的结构特点、降噪机理,
<正> 利用通讯的便利和漏洞,利用名片及其他宣传工具作广告,卖淫业正在以较固定场所的传统卖淫方式派生出一支“上门服务”的“应招”队伍,这支队伍的成员由于其“招之即来”
制度化管理与人性化管理手段是现代企业管理常用的两种管理方式。两种管理方式各具特色,成效不一。科学合理的企业管理应该酌情考虑综合运用制度化管理与人性化管理手段。将