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Growth Conditions of Φ100 mm n <111> FZ Silicon Single Crystal

来源 :RARE METALS | 被引量 : 0次 | 上传用户：lll2518

【摘 要】

：

ＧｒｏｗｔｈＣｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｆΦ１００ｍｍｎ＜１１１＞ＦＺＳｉｌｉｃｏｎＳｉｎｇｌｅＣｒｙｓｔａｌＺｈｏｕＱｉｇａｎｇ，ＺｅｎｇＳｈｉｍｉｎｇ，ＺｈａｎｇＦｕｚｈｅｎ，ＣｈｅｎＹｕｎｇａｎｇａｎｄＳｕｎＨｕａｙｉｎｇ（周旗钢）（曾世铭）（张福珍... GrowthConditionsofΦ100mmn FZSiliconSingleCrystalZhouQigang, ZengShiming, ZhangFuzhen, ChenYungangandSunHuaying (Zhou Qigang)

【作 者】

：

周旗钢 曾世铭 张福珍 陈勇钢 孙华英 

【出 处】

：

RARE METALS

【发表日期】

：

1995年02期

【关键词】

：

周旗 张福 孙华 

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ＧｒｏｗｔｈＣｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｆΦ１００ｍｍｎ＜１１１＞ＦＺＳｉｌｉｃｏｎＳｉｎｇｌｅＣｒｙｓｔａｌＺｈｏｕＱｉｇａｎｇ，ＺｅｎｇＳｈｉｍｉｎｇ，ＺｈａｎｇＦｕｚｈｅｎ，ＣｈｅｎＹｕｎｇａｎｇａｎｄＳｕｎＨｕａｙｉｎｇ（周旗钢）（曾世铭）（张福珍... GrowthConditionsofΦ100mmn <111> FZSiliconSingleCrystalZhouQigang, ZengShiming, ZhangFuzhen, ChenYungangandSunHuaying (Zhou Qigang) (Zeng Shiming) (Zhang Fuzhen ...

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