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优化工艺参数是保证双光子微细加工质量的重要条件。经分析选取了激发光强、覆盖率和物镜的数值孔径作为实验研究对象。用自行开发的双光子微细加工系统，通过单独控制一个加工条件而固定其它条件的方法，对比不同条件下系统的实验结果，探讨该工艺条件对加工质量的影响。最后，给出了经参数优化后的部分实验结果。
双光子三维微细加工重要工艺参数的实验研究
【摘 要】
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优化工艺参数是保证双光子微细加工质量的重要条件。经分析选取了激发光强、覆盖率和物镜的数值孔径作为实验研究对象。用自行开发的双光子微细加工系统，通过单独控制一个加工
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2003年2期
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