【摘 要】
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本文采用离散谱折射率法对深蚀刻、ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ多层脊形光波导模式特性进行了具体分析和设计，获得了较大截面、低损耗的单模脊形光波导。利用这种横向具有最大折射率差的深蚀刻脊形光波导
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本文采用离散谱折射率法对深蚀刻、ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ多层脊形光波导模式特性进行了具体分析和设计，获得了较大截面、低损耗的单模脊形光波导。利用这种横向具有最大折射率差的深蚀刻脊形光波导不但可以提高多模干涉（ＭＭＩ）型器件的性能，而且在设计和制作弯曲波导、分支结构时，具有结构紧凑、易于集成等优点。
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