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期刊论文
紫外激光在精细加工中的应用研究
紫外激光在精细加工中的应用研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:youlishi
【摘 要】
:
论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点。并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的
【作 者】
:
韩微微
杨松涛
高爱梅
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
紫外激光
低温共烧陶瓷生瓷片
蓝宝石
单晶硅
UV laser
LTCC(Low Temperature Co-ceramic)
Sapphire wafe
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论述了紫外激光加工原理,分析了其优缺点。并使用紫外脉冲激光对LTCC生瓷片、蓝宝石晶圆片、太阳能单晶硅片等材料进行了初步的激光划切工艺实验,得到了对这些不同材料加工的一些工艺参数。
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