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文章从蚀刻因子,铜厚以及线间距入手,研究了线宽补偿和这三个因素的关系,并使用公式表述,从而可指导酸性蚀刻减成法线宽补偿的工程设计,并为后续研究103μm(3oz/ft2)以上厚铜板的补偿提供了方向。
酸性蚀刻线宽补偿与蚀刻因子、铜厚及线间距关系研究
【摘 要】
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文章从蚀刻因子,铜厚以及线间距入手,研究了线宽补偿和这三个因素的关系,并使用公式表述,从而可指导酸性蚀刻减成法线宽补偿的工程设计,并为后续研究103μm(3oz/ft2)以上厚铜
【机 构】
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东莞生益电子有限公司
【出 处】
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印制电路信息
【发表日期】
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2013年04期
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