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鉴于电热微驱动器具有输出力矩大、驱动电压低、适合微型化、易集成制造等优点,本文首先提出两类电热微驱动器结构,并在仿真优化的基础上进行了原型器件的制备和测试。为了发挥电热驱动器的优点,降低其功耗和响应时间,我们设计了一种新型的双稳态结构,选定典型的由氧化铝驱动层与镍电阻丝发热层构成的双层膜电热驱动器结构为主要研究对象,通过优化组合工艺,最后实现了热驱动器与双稳态结构集成制造,并且测试了其性能。本文提
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环境雌激素主要是通过激素受体介导调控靶基因转录表达,而产生雌激素类效应。本研究利用雌激素受体、雌激素反应元件和报告基因等,初步建立了一个用于检测环境雌激素的重组酵母
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该论文系统的研究了27~300℃温度范围内SOI/SIMOX MOS器件的物理特性和电学性能.该论文对SOI MOS器件主要寄生效应-浮体效应的温度特性作了详细研究.提出了部分耗尽SOI MOS器