【摘 要】
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首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析，认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大，而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划“973”(No.2006CB202602，2006CB202603);天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100);天津市自然科学基金项目(No.043604911)
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首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析，认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大，而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心馈入法，对馈线和电极的连接方式进行了仔细研究，然后就工作压力、沉积功率、流量等工作参数对均匀性、沉积速率、材料特性的影响进行了研究。结果表明：在本文所研究的范围内，适当提高工作气压可以提高薄膜的均匀性，而功率的变化对均匀性影响不大；在一定范围内提高工作气压和功率都可提高沉积速率；从薄膜的质量来说，气压低时较好，而功率则应适当选择。通过优化
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