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一、问题的提出 InP用于外延工艺中，发现在温度高于500℃区域内，有黑色膜或黑斑点淀积在石英反应管壁上，甚至在衬底支架上。这种现象可能是高温下三氯化磷中碳化物的热分解所造成的。由此提出分析外延试剂的杂质成分问题。试图从中找出沾污的原因及解决污染的办法。
三氯化磷中碳化物的色谱分析
【摘 要】
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一、问题的提出 InP用于外延工艺中，发现在温度高于500℃区域内，有黑色膜或黑斑点淀积在石英反应管壁上，甚至在衬底支架上。这种现象可能是高温下三氯化磷中碳化物的热分解所造
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1985年3期
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