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首先提出了虚拟MEMS加工工艺的概念,它是利用图形动态生长,来模拟每步工艺过程,整个工艺过程中形状变化均包含在虚拟工艺中。其次,分析了实现虚拟工艺所涉及的关键技术:工艺描述、工艺模型和加工过程的可视化。第三,给出了基于专家系统技术的虚拟工艺实现框架。最后,实现了一种表面硅工艺的例子,初步验证了实现框架时间和精确度的可行性。