【摘 要】
：
在高压液封直拉(LEC)法生长InP单晶时,利用杂质效应掺入硫,可以有效地降低位错密度.当载流子浓度达3×10~(18) cm~(-3)时,位错密度降低到10~8cm~(-2)左右,此时补偿比在0.1～0.3
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
论文部分内容阅读
在高压液封直拉(LEC)法生长InP单晶时,利用杂质效应掺入硫,可以有效地降低位错密度.当载流子浓度达3×10~(18) cm~(-3)时,位错密度降低到10~8cm~(-2)左右,此时补偿比在0.1～0.3之间.硫在InP中的有效分配系数为0.68.掺硫InP单晶具有较好的径向及纵向均匀性,这将给稳定器件工艺及提高材料利用率带来好处.
When the InP single crystal is grown by high-pressure liquid-sealed direct-pull (LEC) method, dislocation density can be effectively reduced by incorporating impurities into the InP single-crystal.When the carrier concentration reaches 3 × 10-18 cm -3, , The dislocation density is reduced to about 10 ~ 8cm ~ (-2), the compensation ratio is between 0.1 ~ 0.3. The effective partition coefficient of sulfur in InP is 0.68. Sputtering sulfur InP single crystal has good radial And vertical uniformity, which will benefit the process of device stabilization and material utilization.
其他文献
Coming home from school that dark winter day so long ago, I was filled with excitem ent of having the weekend off.But I was 1 in-to stillness by what I saw. Mot
<正> 我厂是一个专业化的刀具生产企业,生产的刀具品种、规格成千上万,现将其中比较典型的刀具——带有两级导向铰刀的热处理工艺介绍给大家。 该铰刀如图所示,带有前、后两
一、巧妙导入,让学生围绕目标前行上课伊始,我为孩子们精心设计了一个故事“刘老师生日的故事”：故事的大致内容是这样的：昨天晚上,妹妹从天津打来电话说：“哥哥,再过几天就是你
对含有反常色散材料和金属材料散射体无序介质的光子定域化行为进行了理论研究.基于Mie散射理论研究发现,对于某些反常色散电介质球做散射体的无序介质,在较低浓度(10%)下,在
本文选取2011-2019年我国31个省、市、区为研究对象,通过多元回归分析探究了产业多元化对区域经济发展的影响,得出以下结论:中部和东部地区经济发展受到相关多元化和总体多元
飞离地球!在首次涉足载人航天领域两年后,中国于10月12日成功发射了一艘载人航天飞船进入地球轨道。在穿上航天服、进入“神舟六号”宇宙飞船后,随着长征2号F型运载火箭从酒
有效教学的“有效”，是指教师在先进教学理念指导下经过一段时间的教学之后，使学生获得具体的进步或发展；有效教学的“教学”，是指教师引起、维持和促进学生学习的所有行为和策略
在大众生活理念、生活方式多元化的当代，潮流在一些年轻人中涌动着，时下，多数人还未达到“小资”生活水准，而“小私”一族又崭露头角：
应用悬置微带线方法(SMM)对二维EBG结构进行了测量和计算. 将二维电小EBG(UC-EBG和PV-EBG)的特性用SMM法进行了统一的实验和仿真分析. 与其他文献对比,由于采用了'强耦合