面向21世纪的微电子技术

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1引言以微电子技术为基础、以计算机技术和现代通信技术为两翼而发展的信息科学技术,作为现代高新技术的先导,在20世纪取得了令世人瞩目的伟大成就;尤其是近30年来,由于信息科学技术的迅速崛起,极大地推动了现代工业生产技术和当代高新技术的发展.
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