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Controllable Height of Regular Copper Array Using Electrochemical Plating
【机 构】
:
NationalNanoDeviceLaboratories
【出 处】
:
材料科学与工程:中英文A版
【发表日期】
:
2015年5期
【基金项目】
:
AcknowledgementsThe authors would like to thank Dr. F. L. Yang, Dr. Wu, W. F., Chen, H. M. and Wang, H. H. for helping. This work was funded by the Ministry of Science and Technology Nos. MOST 103-222
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