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大型超高真空排气台是我所1989年科研成果,是专门为外形尺寸较大的微波管排气而研制的工艺设备。文章着重介绍该排气台的设计思想和结构特点。
大型超高真空排气台的研制
【摘 要】
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大型超高真空排气台是我所1989年科研成果,是专门为外形尺寸较大的微波管排气而研制的工艺设备。文章着重介绍该排气台的设计思想和结构特点。
【机 构】
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机电部12所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1991年06期
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