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开发了一套微细电火花线切割加工装置，主要由精确可控微小放电能量的脉冲电源、加工状态在线检测与控制录统、基于压电陶瓷驱动的精密伺服控制系统和恒张力走丝系统等关键技术构成．利用直径为30μm的微细电极丝，加工出微小槽的最小宽度〈38μm，表明放电间隙≤4μm，并且白层厚度〈2μm，表面粗糙度Ra≤0．1μm．给出了微小齿轮以及各种各样的异型孔加工实例，证实该设备具有较广泛的实用性。