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以激光生产经济的通信系统法国通信研究中心用紫外激光可以将连接激光器、传感器和电子线路所需的光波导印制在衬底上。激光束扫描穿越薄膜产生光波导激光辐射用来改变生长在衬底表面薄膜的折射率，形成波导。该工艺不需要任何光致抗蚀剂和蚀刻剂，就可望生产出较经济的通...
简明消息
【摘 要】
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以激光生产经济的通信系统法国通信研究中心用紫外激光可以将连接激光器、传感器和电子线路所需的光波导印制在衬底上。激光束扫描穿越薄膜产生光波导激光辐射用来改变生长在
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1999年05期
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