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SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用

来源 :实验力学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：HUANGKAO2

【摘 要】

：

本文提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0～2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度.同时

【作 者】

：

戴福隆 尚海霞 谢惠民 

【机 构】

：

清华大学工程力学系

【出 处】

：

实验力学

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

SEM扫描云纹法 相移技术 MEMS 云纹图像 四步相移 虚应变 微电子机械系统 phase shifting technique  SEM scanning 

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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论文部分内容阅读

本文提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0～2π范围内的四步相移,从而获得了更高的位移测量灵敏度.同时对SEM相移实验技术的原理进行了详细的阐述.并将该技术应用到微电子机械系统构件的虚应变分析中.实验结果证明了该方法的可行性,该方法为微米云纹法的条纹处理提供了一种新途径.

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