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SEM扫描云纹法相关论文
SEM扫描云纹法相移技术在MEMS中的应用
本文提出一种扫描电镜(SEM)扫描云纹法的相移新技术,通过SEM系统控制电镜电子束扫描线移动,对获取的云纹图像实现0~2π范围内的四步......
期刊
SEM扫描云纹法
相移技术
MEMS
云纹图像
四步相移
虚应变
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phase shifting technique
SEM scanning
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