【摘 要】
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运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。
Usin
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系!350002,福州大学电子科学与应用物理系!350002,浙江大学信息与电子工程系!310027
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运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。
Using thin film deposition technology, a thin-film strain gage load cell was fabricated. Performance tests show that, due to overcoming the shortcomings of adhesive glue, compared with the patch-type sensors with hysteresis and creep small, high stability and reliability features.
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