【摘 要】
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采用坩埚下降法生长出尺寸为Ф22mm×30mm 的磷锗锌（ZnGeP2）单晶体.分别采用真空P氛围和真空ZnGeP2多晶粉末包裹对生长的ZnGeP2晶体进行退火处理.利用X射线衍射仪、能量分
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采用坩埚下降法生长出尺寸为Ф22mm×30mm 的磷锗锌（ZnGeP2）单晶体.分别采用真空P氛围和真空ZnGeP2多晶粉末包裹对生长的ZnGeP2晶体进行退火处理.利用X射线衍射仪、能量分散光谱仪、红外分光光度计,测试了不同退火条件下ZnGeP2晶体中的元素组成和红外透光谱.结果表明,采用真空ZnGeP2多晶粉末包裹,580-600℃保温300h的退火工艺,能够较好地弥补晶片中Zn、P原子缺失,成分更接近ZnGeP2理想化学计量比.退火后的晶体在近红外波段范围内（0.7-2μm）的透过率有约3
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