【摘 要】
:
主要对0.5μm分步光刻机的几个代表性参数即:投影镜头分辨率、照明均匀性,套刻精度,工作台步进精度,镜头畸变等引起误差的原因,测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结,在
论文部分内容阅读
主要对0.5μm分步光刻机的几个代表性参数即:投影镜头分辨率、照明均匀性,套刻精度,工作台步进精度,镜头畸变等引起误差的原因,测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结,在解释问题的同时,也提出了相应的解决办法,为一下代光刻机的研制打下一定的基础。
其他文献
近些年来,随着我国电力系统网络逐渐扩大,使得输电线路检测比较困难。高压输电线路因其输电线路长、区域跨度大、气候条件复杂,在日常运行中非常容易受到雷击,一旦遭受雷击必
平行缝焊技术是一种安全、高效、可靠的焊接方法.论述了平行缝焊设备的研制及总体设计方案,介绍了机体、电源系统、机械系统、控制系统及其相互配合.该设备已应用于金属、陶
【摘 要】 随着新课程的不断深入,学科核心素养培养渐渐成为教师研究和实施的重点。在高中历史教学中,教师要培养学生的历史核心素养,提升学生的历史价值观,不断提高学生的综合素质。 【关键词】 高中历史;核心素养;价值观 随着素质教育提出且持续推进,学生知识技能掌握以及核心素养发展已成为高中历史课程教学的重中之重,而这要求教师要深化历史教与学,科学引领学生了解、学习历史,学会站在历史视角剖析问题,
在现代生活当中,水是一个居民重要的生活资源,因此需要对水体富营养化程度的总氮值进行测量,从而判断水体本身的富营养化程度。在对水和废水当中的总氮值进行测定的时候,可以
在我国经济迅猛发展的同时,电网建设也随之进步,对于城市建设中的输电线路杆塔设置也明显加强。对于城市的输出电线杆塔设置与设计,必须充分考虑到其建设的安全性、经济性等
【摘 要】 在初中数学教学中,教师要引入对话教学,使他们的信息得以分享、智慧得以碰撞,从而获得思维品质的提升。本文主要从借助问题、优化环境、适度留白、联系经验等角度阐述初中数学对话教学的有效策略。 【关键词】 初中数学;对话教学;策略 课堂是师生、生生对话的过程,学生通过有效的对话促进知识的建构、情感的沟通。对话,富有生命的活力,能使对话双方发生精神的相遇,能让认知的视界得到融合。教师要将对
【摘 要】 数理思维能力、情景思维能力、探索发现能力是数学学习中三种重要的能力,其也是数学这一学科的核心素养。在小学数学的教学中,教师可以应用一定的教学方法提升学生在这三方面的能力,增强学生的社会竞争力。 【关键词】 核心素养;小学数学;教学方法 随着时代的进步,数学在现代社会发挥着越来越重要的作用。重视小学数学教育、重视对小学生数学核心素养的提高对学生个人、社会都具有重要的意义。在数学教学
垃圾焚烧发电项目兼具经济效益和环境效益,环境风险评价是建设项目环境影响评价的一个重要组成部分。本文分析了目前生活垃圾焚烧发电项目环境风险评价工作的不足,以金寨县生活
美国国家半导体公司宣布计划在2006年年底之前实现生产工序无铅化。换言之,届时该公司出售的集成电路将会全部采用不含铅封装。