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主要对０．５μｍ分步光刻机的几个代表性参数即：投影镜头分辨率、照明均匀性，套刻精度，工作台步进精度，镜头畸变等引起误差的原因，测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结，在解释问题的同时，也提出了相应的解决办法，为一下代光刻机的研制打下一定的基础。
0.5μm分步光刻机关键参数测量与分析
【摘 要】
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主要对０．５μｍ分步光刻机的几个代表性参数即：投影镜头分辨率、照明均匀性，套刻精度，工作台步进精度，镜头畸变等引起误差的原因，测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结，在
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2000年2期
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