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磁悬浮转子规在分压力测量中的应用
磁悬浮转子规在分压力测量中的应用
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ziling_net
【摘 要】
:
分析了磁悬浮转子规的测量特点,指出在分子流范围内,不同气体成分引起的磁悬浮转子规转速衰减率具有可线性迭加性,提出了磁悬浮转子规用于分压力测量的2种方法,并给出了实验结果
【作 者】
:
李得天
冯焱
李正海
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
磁悬浮转子规
分压力
测量
质谱计
校准
SRG partial pressure measurement
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分析了磁悬浮转子规的测量特点,指出在分子流范围内,不同气体成分引起的磁悬浮转子规转速衰减率具有可线性迭加性,提出了磁悬浮转子规用于分压力测量的2种方法,并给出了实验结果。
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