磁悬浮转子规在分压力测量中的应用

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分析了磁悬浮转子规的测量特点,指出在分子流范围内,不同气体成分引起的磁悬浮转子规转速衰减率具有可线性迭加性,提出了磁悬浮转子规用于分压力测量的2种方法,并给出了实验结果。
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