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讨论了量子阱红外光电探测器的器件物理学和探测性能。在这些结果的基础上,制造了128×128元大面积二维阵列,并测量了其性能。优异的长波成象结果(99％的象素工作,噪声等效温差NE△T=10mK)显示出这种新型砷化镓量子阱红外光电探测器工艺的潜力。
长波128×128元砷化镓量子阱红外光电探测器
【摘 要】
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讨论了量子阱红外光电探测器的器件物理学和探测性能。在这些结果的基础上,制造了128×128元大面积二维阵列,并测量了其性能。优异的长波成象结果(99％的象素工作,噪声等效
【出 处】
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红外与激光技术
【发表日期】
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1993年4期
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