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绝缘膜薄膜化达刭极限 希望寄托于高k材料
绝缘膜薄膜化达刭极限 希望寄托于高k材料
来源 :电子设计应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jill818
【摘 要】
:
机械设计人员和LSI设计人员减小漏电流的对策,主要针对亚阈值漏电流。但是,对于65nm及以下的工艺,栅漏电流将使机械设计人员和LSI设计人员面临更大挑战。
【出 处】
:
电子设计应用
【发表日期】
:
2004年9期
【关键词】
:
LSI设计
漏电流
阈值
薄膜
人员
绝缘膜
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机械设计人员和LSI设计人员减小漏电流的对策,主要针对亚阈值漏电流。但是,对于65nm及以下的工艺,栅漏电流将使机械设计人员和LSI设计人员面临更大挑战。
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