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讨论利用源子力显微镜（AFM）动态电场诱导阳极氧化作用下Si表面生成纳米氧化结构的特征，并进行相应的机理分析。实验表明，直流电压作用下的氧化结构表现出单峰特征，而电压脉冲的连续方波所得到的氧化结构具有中央凹陷特征和较高的纵横出。
利用AFM动态电场在Si表面实现纳米氧化结构
【摘 要】
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讨论利用源子力显微镜（AFM）动态电场诱导阳极氧化作用下Si表面生成纳米氧化结构的特征，并进行相应的机理分析。实验表明，直流电压作用下的氧化结构表现出单峰特征，而电压脉冲的连
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年11期
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