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采用溶胶-凝胶法在普通玻璃衬底上制备出了Al^3＋离子掺杂的ZnO（ZnO：Al）透明导电薄膜．利用X射线衍射仪fXRD）、扫描电子显微镜（SEM）、四探针法及紫外-可见分光光度计（UV—VIS）等分析方法对制备的薄膜进行了表征，研究了热处理温度及冷却速度对ZnO2Al薄膜结晶状况、电阻率、可见光透过率的影响．研究发现：制备的薄膜为具有沿（002）晶面择优取向的ZnO六角纤锌矿结构，适当的热处理温度和冷却速度有利于改善ZnO2Al薄膜的导电性，并且当采用快速冷却时薄膜的导电性明显增强，而透光率略微减小．5