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提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义，分析了驻留函数解的存在条件，进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小，最后进行了仿真验证。分析结果表明，对于高斯型的束函数，驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高，驻留函数解越太，去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比（d／λ）的增加而指数增加。当d／λ=0．5时，额外材料去除量为15％，还是可以接受的；当d／λ=1时，额外材料去除量迅速上升到73％，该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表