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本文研究了氟化辅助电热蒸发ＥＴＶ－ＩＣＰ－ＡＥＳ测定难熔元素时分析物的传输过程，通过对载气流速，传输管长和升温速率对分析物信号影响的考察，得出了相应的规律性，提出了相对沉积损失率的新概念，并用来定量地评价有／无氟化剂存在时分析物的传输效率，在实验的基础，上对ＥＴＶ－ＩＣＰ－ＡＥＳ中分析物的传输机理进行了探讨。